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描述：Sekidenko OR400M半導(dǎo)體外延片測溫儀產(chǎn)品系列的應(yīng)用范圍擴展至3.3um-5.2um的中紅外波長范圍。OR400M可進行單通溫度測量，用于半導(dǎo)體設(shè)備的高精密溫度測量，用于硅片，腔室的精確測溫。OR400M支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口。OR400M設(shè)計緊湊，易于集成，可滿足許多工藝應(yīng)用的要求。
| 品牌 | Advanced Energy/優(yōu)儀 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,汽車,電氣 |
優(yōu)點:
溫度范圍為50℃C至1300℃
讀取速率高達250Hz
單通道配置可選/固定發(fā)射率
高速、固態(tài)檢測器
可配置的過濾器、檢測器和光學(xué)傳輸系統(tǒng)
RS-232連接模式
應(yīng)用：
適用于半導(dǎo)體外延，太陽能薄膜和玻璃類工藝
技術(shù)參數(shù)：
| 通道配置: | 帶可選/固定發(fā)射系數(shù)的單通道溫度測量 |
| 測溫范圍: | 50-1300℃ |
| 測溫波長: | 3.3 和 5.2 um |
| 讀取速率: | 高達250 Hz |
| 測量精度: | ±3℃℃ |
| 重復(fù)精度: | ±0.1℃℃，正常情況下 |
| 分辨率: | 0.01°C |
| 顯示: | 無，可通過RS232設(shè)置 |
| 數(shù)據(jù)I/O: | US232,可達115kB |
| 模擬輸出: | 0-10V或4-20mA |
| 電源: | 交流:90 to 263 VAC,47 to 63 Hz直流:24V DC |
| 環(huán)境參數(shù): | 18-40℃，非冷凝 |
| 物理尺寸: | 32 mm (H)x 57 mm (W)x 235 mm (D) |
| 重量: | 0.39kg |
| 安裝: | 框架安裝、安裝孔安裝等 |
